干法煙氣脫硫脫硝一體化技術包括四個方面：固相吸收/再生法、氣/固催化同時脫硫脫硝技術、吸收劑噴射法以及高能電子活化氧化法，以下是高能電子活化氧化法。

電子束照射法

利用陰極發射并經電場加速形成高能電子束，這些電子束輻照煙氣時產生自由基，再和sox和nox反應生成硫酸和硝酸，在通入氨氣(nh3)的情況下，產生(nh4)2so4和nh4no3氨鹽等副產品。日木荏原公司經過20多年的研究開發，己從小試逐步走向工業化。脫硫率90%以上，脫硝率80%以上。但耗電量大(約占廠用電的2%)，運行費用高。

脈沖電暈等離子體法

masuda等人1986年發現電暈放電可以同時脫除二氧化硫和氮氧化物，該方法由于具有設備簡單、操作簡便，顯著的脫硫脫硝和除塵效果以及副產物可作為肥料回收利用等優點而成為國際上脫硫脫硝的研究前沿。

脈沖電暈等離子體技術和電子束法均屬于等離子體法.脈沖電暈與傳統的液相(氫氧化鈣或碳酸氫銨)吸收技術相結合，提高了煙氣二氧化硫和氮氧化物的脫除效率，實現脫硫、脫硝的一體化。脈沖電暈放電脫硫脫硝有著突出的優點，在節能方面有很大的潛力，對電站鍋爐的安全運行也沒有影響。